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同花順7x24快訊
華懋科技在互動平臺上表示，徐州博康目前擁有10余款KrF光刻膠，主要應用在55-14nm節點，其中部分款已實現量產。徐州博康的KrF光刻膠產品主要分為高分辨率正膠、高分辨率負膠、金屬剝離負膠、厚膠四大類。高分辨正膠厚度可涵蓋0.15um-1.2um，極限分辨率可達到120nm，徐州博康目前在積極推動高分辨率產品在國內主要晶圓廠客戶的驗證評估。
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