兩款國產半導體檢測細分領域設備出機 客戶是中芯國際 ©原創 2021-07-14 09:15 0 7月13日，上海精測半導體官宣，國內首臺12寸獨立式光學線寬測量設備(OCD)與國內唯一12寸全自動電子束晶圓缺陷復查設備(Review SEM)順利出機。同日，上海精測半導體母公司精測電子在其披露的投資者調研紀要中確認，上述兩款產品交付的客戶為國內一流先進制程晶圓廠中芯國際。(中國證券報)
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